Alcatel Adixen AD100K és AD30K szárazszivattyú, vákuumszivattyú/ct1421

• Részletek
• Adatok

Részletek

Alcatel ISO710

Az új, nagy teljesítményű szárazszivattyúk:
Az ADH sorozatot kifejezetten a napelem-,
félvezető- és led-piacok igényes folyamataihoz fejlesztették ki,
600-4500 m3/h szivattyúzási sebességgel.

Félvezető: Magas H2 szivattyúzási sebesség
Az ADH sorozat teljesítménye a következő előnyökkel jár a folyamatban:
-ADL folyamat teljesítménye: a könnyű gázok magas szivattyúzási hatékonysága
gyorsabb kamraürítést tesz lehetővé a folyamat lépései között
- Epitaxy és EUV: a nagy szivattyúzási sebesség és a nagy áramlási sebesség
tolerancia megfelel a legigényesebb folyamatspecifikációknak


Adixen AD30K szárazszivattyú, nagy vákuum, AD 30 KL
Gyártó: Alcatel Adixen
Típus: AD30K.H
Gyártás éve: 2008

Adixen AD100K.H
Gyártó: Alcatel Adixen
Típus: AD100K.H
Gyártás éve: 2008

Vákuumszivattyú:
Gyártó: AERZEN
Típus: GM 2000 CM-C
Fordulat: 6000 rpm
feszültség: 200-460 V
Frekvencia (ásványi olaj/PFPE-olaj): 100 c/s
Szívóteljesítmény max.: 4035 m3/h
Sebesség max.: 5920 rpm
Motor teljesítmény S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Gyártás éve: 2008
súly: 345 kg

Szárazszivattyú:
Gyártó: Adixen
Típus: BF ADP122
Gyártás éve: 2008
Teljesítmény 1,5 kW
Maximum szivattyúzási sebesség: 95 m3/h
Maximum folyamatos Bemeneti nyomás: 50 mbar
Maximális kipufogógáz túlnyomás: 1200 mbar
Hűtővíz: 60 l/h
Forgási sebesség (szivattyú): 3000-3600 rpm
Szivattyú üzemi hőmérséklet: 5 °C-tól 40 °C-ig
Bemeneti karima: DN 50 ISO-KF
Kipufogó karima: DN 40

Adatok

Gyártó:

Alcatel Adixen

Típus:

ISO710

Hasonló termékek